四氟甲烷安全技术说明书 | ||||
标 识 |
中文名: | 四氟甲烷;四氟化碳 | ||
英文名: | Tetrafluoromethane;Carbon tetrafluoride | |||
分子式: | CF4 | 分子量: | 88.01 | |
结构式: | ||||
CAS号: | 75-73-0 | RTECS号: | FG4920000 | |
HS编码: | UN编号: | 1982 | ||
危险货物编号: | 22033 | IMDG规则页码: | 2182 | |
理 |
外观与性状: | 无色无臭气体。 | ||
主要用途: | 用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻。 | |||
熔点: | -183.6 | 沸点: | -128.0 | |
相对密度(水=1): | 1.61/-130℃ | 相对密度(空气=1): | 无资料 | |
饱和蒸汽压(kPa): | 13.33/-150.7℃ | 溶解性: | 不溶于水。 | |
临界温度(℃): | -45.5 | 临界压力(MPa): | 3.74 | |
燃烧热(kj/mol): | 无意义 | |||
燃 烧 爆 炸 危 险 性 |
避免接触的条件: | |||
燃烧性: | 不燃 | 建规火险分级: | 戊 | |
闪点(℃): | 自燃温度(℃): | 无意义 | ||
爆炸下限(V%): | 无意义 | 爆炸上限(V%): | 无意义 | |
危险特性: | 若遇高热,容器内压增大,有开裂和爆炸的危险。 | |||
燃烧(分解)产物: | 氟化氢。 | 稳定性: | 稳定 | |
禁忌物: | 强氧化剂、易燃或可燃物。 | 聚合危害: | 不能出现 | |
灭火方法: | 不燃。切断气源。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。 | |||
包 装 储 运 |
危险性类别: | 第2.2类不燃气体 | 危险货物包装标志: | 5 |
包装类别: | Ⅱ | |||
储运注意事项: | 不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓温不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃、可燃物分开存放。验收时要注意品名,注意验瓶日期,先进仓的先发用。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。 废弃:根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系,确定处置方法。 包装方法:钢质气瓶。 | |||
毒 性 危 害 |
接触限值: | 中国MAC:未制定标准苏联MAC:未制定标准美国TWA:未制定标准美国STEL:未制定标准 | ||
侵入途径: | 吸入 | |||
毒性: | ||||
健康危害: | 能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。 | |||
急 |
皮肤接触: | |||
眼睛接触: | ||||
吸入: | 脱离现场至空气新鲜处。必要时进行人工呼吸。就医。 | |||
食入: | ||||
防 |
工程控制: | 生产过程密闭,全面通风。 | ||
呼吸系统防护: | 高浓度环境中,建议佩带供气式呼吸器或自给式呼吸器。 | |||
眼睛防护: | 一般不需特殊防护。 | |||
防护服: | 穿工作服。 | |||
手防护: | 一般不需特殊防护。 | |||
其他: | 避免高浓度吸入。进入罐或其它高浓度区作业,须有人监护。 | |||
泄漏处置: | 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并隔离直至气体散尽,建议应急处理人员戴自给式呼吸器,穿相应的工作服。切断气源,通风对流,稀释扩散。如有可能,即时使用。漏气容器不能再用,且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。 法规信息:化学危险品安全管理条例(1987年2月17日国务院发布),化学危险品安全管理条例实施细则(化劳发[1992]677号),工作场所安全使用化学危险品规定[1996]劳部发423号)法规,针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定;常用危险化学品的分类及标志(GB13690-92)将该物质划为第2.2类不燃气体。 |
四氟甲烷安全技术说明书
非售品
CAS:75-73-0
分子式:
CF4
分子量:88