制备：
1、在装有搅拌器、回流冷凝管和温度计的2000mL干燥四口烧瓶中，加入605g氟化钠(13.5mol)和800g溶剂DMI，开启搅拌，升温至80℃，加入555g六氯环三磷腈(纯度94%，1.50mol)，控制反应温度并保持在80℃左右。反应结束后蒸馏分离出六氟环三磷腈350g(纯度98%，1.38mol)，收率为92%。副产物氯化钠、过量未反应的氟化钠和溶剂DMI一起压入耙式干燥器中，蒸馏采出溶剂作为原料回用。

2、在氮气保护下，在装有搅拌器、回流冷凝管和温度计的2000mL干燥四口烧瓶中，投入正己烷800g、六氟环三磷腈254g(纯度98%，1.0mol)，将烧瓶降温至-5℃，向反应釜中间歇投入乙醇钠57.8g(0.85mol)，通过过滤除去滤渣氟化钠，得到的滤液为乙氧基五氟环三磷腈的粗品液。滤液进入反应釜精馏，将纯度>99.8%的馏分经各项检测合格后作为乙氧基五氟环三磷腈成品。