三乙基硅烷生产过程中格氏缩合后得到的产物为三乙基硅烷、三甲苯（沸点165～166℃）、少量低沸的混合物，对三乙基硅烷的提纯 本项目采用先集浓再精馏的方法。先减压蒸馏集浓得到含量在60%以上的正沸，然后对正沸进行精馏，含量97%以上的产物，得到含量99.0%以上的产品。高沸主要为溶剂，精馏得到含量99%以上的回收三甲苯进行重利用。