结构式


CAS： 144317-44-2
分子式： C22H15F9O3S2
分子量： 562.46

中文名称： 全氟丁基磺酸三苯基锍盐

英文名称： Triphenylsulfonium nonaflate
　　　　　 Triphenylsulfonium perfluoro-1-butanesufonate

性状描述： 白色结晶粉末，熔点84-88℃ ，溶解性　丙二醇单甲基醚酯(PGMEA)约50%，γ-丁基内酯约65%，乙酸乙酯约65% 。PAG-4L在树脂和溶剂中溶解性能好，酸性强，纯度高，热稳定性高，挥发性低。

用途： 表面活性剂(SAA)，阳离子光引发剂，光致产酸剂(PAG)，与全氟辛基磺酸三苯基锍盐(TPS-PFOS)相比，安全、卫生、低毒、环境友好，可作为目前157-nm、193-nm、248-nm光刻胶中常用光酸剂(PAG)全氟辛基磺酸三苯基锍盐(TPS-PFOS)的替代品。