蒸发条件对碘化铅多晶薄膜结构的影响

采用真空蒸发法在普通玻璃上制备了碘化铅多晶薄膜,研究了蒸发速率、蒸发源与衬底距离、薄膜厚度以及衬底温度等实验条件对所制备碘化铅多晶薄膜结构的影响+ 利用, 射线衍射仪和扫描电子显微镜对样品进行了测试,结
果表明，在衬底温度为室温时得到（001）择优取向多晶碘化铅薄膜，即沿c轴垂直衬底方向取向生长的薄膜,当衬底温度升高时，薄膜的择优取向逐渐由（001）转向（003），且晶体颗粒变大，薄膜中的内应力随衬底温度的升高而降低。

关键词：蒸发速率，衬底温度，碘化铅薄膜，多晶结构，真空蒸发

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